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ESA Series

Ebara荏原真空泵‌‌是日本Ebara荏原公司生产的一系列真空泵产品，广泛应用于各种工业领域，特别是在半导体制造、化学处理、医药制造等领域有着重要的应用
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产品简介

       Ebara荏原真空泵ESA系列‌是一种多级干式真空泵，适用于各种工业应用，特别是在需要高抽速和低振动环境中表现出色。　　

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  • 技术参数

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 产品特点

      1.抽速范围‌：ESA系列真空泵的抽速范围从1400L/min到80,000L/min，适合不同排气需求的应用场景

　　2.设计特点‌：采用紧凑化设计，可以选择耐腐蚀性材料选配件，适用于大型腔室的高速排气

　　3.应用领域‌：适用于MOCVD等大流量轻质气体排气用途，以及LCD溅镀装置、真空干燥工艺和大型预真空等

 

 

 

 

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