EV-M Series - 重庆杰铭晟真空科技有限公司

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EV-M Series

Ebara荏原真空泵‌‌是日本Ebara荏原公司生产的一系列真空泵产品，广泛应用于各种工业领域，特别是在半导体制造、化学处理、医药制造等领域有着重要的应用

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产品简介

　　荏原真空泵EV-M系列‌是一种高节能性能的干式真空泵，特别适合节能和高负载工艺。该系列真空泵兼容高负载流程和高温控制，具有耐腐蚀性，适用于各种工业应用。

咨询电话：

023-86968816

详细介绍
技术参数
产品配置表

产品特点

1.节能性能‌：EV-M系列真空泵具有高节能性能，能够节省能源，特别适用于高负载工艺

　　2.‌耐腐蚀性‌：标准配置采用耐腐蚀材料，适用于处理腐蚀性介质

　　3.高负载流程兼容性‌：能够兼容高温控制，适用于半导体、液晶和太阳能电池制造等高负荷工艺

　　4.频率适应性‌：在不同频率(50/60Hz)下具有相同的性能，提供CE标志、SEMI-S2和NRTL兼容性

抽速范围‌：覆盖1,800~110,000升/分钟，不同型号对应不同抽速（如EV-M102N为10,000 L/min，EV-M202N为20,000 L/min）。
‌极限压力‌：典型值为0.5 Torr（约0.067 Pa），兼容高温控制工艺。
‌功率需求‌：额定功率从1.2 kW至5.3 kW（例如EV-M102N为1.8 kW，EV-M202N为1.9 kW）。
‌连接口径‌：进/排气口直径根据型号适配ISO标准，如EV-M202N进气口为ISO100，排气口为NW40。

冷却系统‌：冷却水流量需3~8 L/min，水温不超过30℃。

‌氮气保护‌：部分型号支持氮气吹扫，流量范围26~35 Pa·m³/s。

‌电源兼容‌：支持50/60Hz双频运行，电压标准为200V或定制方案。