荏原EVS系列 - 重庆杰铭晟真空科技有限公司

荏原EVS系列

Ebara荏原真空泵‌‌是日本Ebara荏原公司生产的一系列真空泵产品，广泛应用于各种工业领域，特别是在半导体制造、化学处理、医药制造等领域有着重要的应用

产品简介

　 EVS Series是一款独立安装的罗茨型干泵，具有低能耗、占地小、轻量化的特点‌‌。该系列真空泵适用于从轻制程工艺（如load lock、SEM）到腐蚀性工艺的广泛应用范围。EVS Series真空泵具备抽气速率可变、通信功能等丰富附加功能，能够满足各种工业应用的需求。

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产品特点

1.高抽速‌：EVS系列真空泵的抽速范围广泛，从1400L/min到80,000L/min不等，适合不同规模的应用需求

　　2.紧凑设计‌：采用紧凑化设计，适合各种安装环境，且可以选择耐腐蚀性材料选配件

　　3.噪音和低振动‌：大型机型兼具大排气量和静音低振的优点，适用于需要低噪音环境的场合

　　4.多种应用‌：适用于MOCVD等大流量轻质气体排气、LCD溅镀装置、真空干燥工艺和大型预真空等