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IPH Series

‌汉钟真空泵‌是一款专业的真空设备,广泛应用于各种工业领域,如半导体、化工、制药、太阳能、高铁、航空航天等
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IPH  Series
IPH  Series

产品简介

  汉钟真空泵的IPH系列是一款干式螺杆泵,设计紧凑,支持即插即用;内置加热装置,避免制程物沉积;采用独特型线设计,优化排气路径,提升性能稳定性,适用于严苛的工业制程。‌

IPH  Series

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  • 详细介绍

  • 技术参数

  • 产品配置表

       1.高效稳定‌:采用高性能的永磁同步电机和精密的转子设计,确保了高效的真空抽取和稳定的性能。

  2.‌无油设计‌:IPH系列真空泵采用干式设计,工作腔内无任何介质,可以获得清洁的真空环境。

  3.‌适应性强‌:该系列真空泵适用于各种严苛的工业制程,如半导体制造中的单晶拉晶、刻蚀、CVD、原子层沉积(ALD)、封装和测试等环节。

  4.‌维护简便‌:汉钟真空泵的结构设计简单,故障率低,维护容易。

  5.‌智能化操作‌:微电脑控制器提供简便操作方式,能显示真空泵完整运转状态,方便用户调整和维护。

 

  

 

 

 

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