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汉钟iPH系列
产品简介
汉钟iPH系列设计紧凑，支持即插即用；内置加热装置，避免制程物沉积；采用独特型线设计，优化排气路径，提升性能稳定性。
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详细介绍
技术参数
产品配置表
1.高效稳定：采用高性能的永磁同步电机和精密的转子设计，确保高效的真空抽取和稳定的性能。
2.无油设计：IPH系列真空泵采用干式设计，工作腔内无任何介质，可以获得清洁的真空环境。
3.适应性强：该系列真空泵适用于各种严苛的工业制程，如半导体制造中的单晶拉晶、刻蚀、CVD、原子层沉积(ALD)、封装和测试等环节。
4.维护简便：汉钟真空泵的结构设计简单，故障率低，维护容易。
5.智能化操作：微电脑控制器提供简便操作方式，能显示真空泵完整运转状态，方便用户进整和维护。
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