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MU-X Series

‌Kashiyama卡西亚玛真空泵‌是日本制造的高质量真空泵，广泛应用于半导体、电子和工业领域
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MU-X Series
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产品简介

       MU-X系列是开发的一款高效节能的真空泵。该系列真空泵以其节能、省空间和低噪音的特点，在半导体制造、高科技行业等领域获得了高度评价和信赖‌。

MU-X Series

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  • 技术参数

  • 产品配置表

　产品特点  

      1.节能高效‌：MU-X系列真空泵具有业界最小的功率消耗，仅为0.35kW，通过专用的设计实现了节能高效的效果，并且环保低功耗‌

　　2.轻量化设计‌：该系列真空泵设计轻量化，适用于各种设备嵌入，特别适合于从轻度到中度的工艺流程

　　3.耐用性‌：适用于广泛的工艺流程，可通过热N2吹扫提高工艺耐久性

　　4.低噪音‌：在运行过程中噪音较小，适合在需要安静环境的场合使用

 

 

技术参数

  • ‌抽气速率‌：1660L/min~30000L/min
  • ‌电机功率‌：0.35kW~1.5kW
  • ‌尺寸‌：W:230×H:275×L:450mm（部分型号）
  • ‌重量‌：60kg~410kg（不同型号重量不同）
  • ‌电源电压‌：3Phase AC200～220V
  • ‌极限真空度‌：1.5 Pa~0.5 Pa（不同型号极限真空度不同）‌

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