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A series

德国‌Pfeiffer真空泵‌公司成立于1890年,Pfeiffer Vacuum生产的一系列高质量真空泵具有广泛的应用领域和悠久的历史
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A  series
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产品简介

  Pfeiffer A系列多级罗茨泵适用于:清洁制程应用如分析仪器、半导体生产和等离子清洗等,这些泵很少需要保养,适用于需要清洁无尘且无腐蚀性气体的环境;工业应用如冷冻干燥应用,这些泵具有高抽速和低极限压力

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  ‌Pfeiffer真空泵的A系列主要包括多级罗茨泵和干式真空泵,广泛应用于半导体、光伏、LED等行业,特别是在需要高真空度和耐腐蚀性的环境中表现出色。其干式设计、低维护成本和高可靠性使其成为这些行业的理想选择‌

 

 

 

 

PfeifferA系列主要包括A124和A4X

A124系列

Pfeiffer真空泵A124属于油封旋片真空泵,其标准参数如下:

  • ‌抽气速率‌:在50Hz电源下,标称抽气速率为12m³/h;在60Hz电源下,标称抽气速率约为14.4m³/h。
  • ‌极限压力‌:其极限压力(关气镇)可达1×10⁻³mbar,开气镇时极限压力为5×10⁻³mbar。
  • ‌进气口连接‌:通常为KF25接口,这种接口连接方便且能保证良好的气密性。
  • ‌排气口连接‌:一般为外径12mm的管道连接。
  • ‌电机功率‌:0.55kW,能够为真空泵的稳定运行提供足够动力。
  • ‌工作温度范围‌:在5℃到40℃之间,在此温度区间内,真空泵可维持良好的性能与稳定性。
  • ‌油容量‌:1.1L,充足的油量能确保泵体各部件得到良好的润滑与密封,延长设备使用寿命‌。

A4X系列

Pfeiffer真空泵A4X系列是干式真空泵,适用于半导体光伏等腐蚀性强的行业。其核心优势包括:

  • ‌抽速范围‌:从160到1,700 m³/h,满足不同需求。
  • ‌耐腐蚀设计‌:特殊的耐腐蚀工艺设计保证干式真空泵A4X系列使用寿命大幅提高。
  • ‌应用场景‌:适用于半导体(蚀刻、PECVD、SACVD、ALD等)、光伏和LED等行业‌。

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