A4H series - 重庆杰铭晟真空科技有限公司

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A4H series

德国‌Pfeiffer真空泵‌公司成立于1890年，Pfeiffer Vacuum生产的一系列高质量真空泵具有广泛的应用领域和悠久的历史

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产品简介

　　Pfeiffer真空泵‌A4H系列是一种多级罗茨泵，专为半导体、光伏和LED等腐蚀性强的行业设计。

咨询电话：

023-86968816

详细介绍
技术参数
产品配置表

　　A4H 系列泵具有较高的抽速和低极限压力，适用于蚀刻、PECVD、SACVD、ALD等半导体工艺。A4H系列泵的耐腐蚀设计显著延长了使用寿命，降低了企业的运营成本‌。

A4H系列的抽速范围为160到1700立方米每小时（m³/h），满足不同工艺需求。其特殊的耐腐蚀工艺设计延长了泵的使用寿命，降低了企业的运营成本‌；该系列泵采用干式设计，无需润滑油，避免了油雾污染和维护成本。其防腐材料确保在腐蚀性气体环境中稳定运行‌；A4H系列具有安全性和可靠性‌符合Semi S2-0712和UL 61010标准，防止爆裂或可冷凝物沉积。配置氮气吹扫阀，耐粉尘，确保在高粉尘环境中稳定运行‌。