普发A 100 L 标准型，高电压，19 针 IO A100L41334 - 重庆杰铭晟真空科技有限公司

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普发A 100 L 标准型，高电压，19 针 IO A100L41334

德国‌Pfeiffer真空泵‌公司成立于1890年，Pfeiffer Vacuum生产的一系列高质量真空泵具有广泛的应用领域和悠久的历史

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产品简介

　　Pfeiffer真空泵A100L‌适用于洁净制程的整体式干泵，具有紧凑设计、大抽速、低能耗的特点。它广泛应用于半导体行业机台内直接安装和快速抽空的设计要求，特别适合load-lock、传送腔及其他非腐蚀性工艺。

咨询电话：

023-86968816

详细介绍
技术参数
产品配置表

　　‌真空泵A100L具有100立方米每小时的吸气能力。该泵配备冷却水循环，运行时间记录仪和三色LED指示灯提供泵状态信息，该泵的高可靠性和长期稳定性使其在全世界范围内的300 mm半导体工厂中得到广泛应用。此外，Pfeiffer真空泵A100L还具有低噪音和低振动、无油无尘、即插即用系统等优点‌。

‌Pfeiffer真空泵A100L的主要参数如下‌：

‌ 型号‌：A100L
‌ 进气口尺寸‌：DN50
‌ 极限压力‌：6.6 x 10^-3 hPa
‌ 抽速‌：100 m³/h
‌ 噪音水平‌：58分贝 (A)
‌ 重量‌：100kg
‌ 冷却水流量‌：96 l/h
‌ 最小冷却水流量‌：1.6 l/min
‌ 最终压力下的功耗‌：1.6千瓦
‌ 连接法兰‌：入口DN50 ISO-KF，出口DN25 ISO-KF‌