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SKY沈科仪SGL-120A
产品简介
SKY沈科仪的SGL-120A是一款罗茨干式真空泵，该型号属于L系列产品，专为清洁工艺制程设计，主要用于清洁工艺制程。
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详细介绍
技术参数
产品配置表
SGL-120A采用罗茨与爪型转子组合结构，具备高清洁度真空环境和稳定运转性能。其应用覆盖集成电路、半导体制造、真空镀膜等领域。基础保养：每3个月或500小时（润滑、滤芯）。深度检修：每2000小时（转子清洁、密封件更换）。
型号：SGL-120A
抽速：110m³/h
极限压力：1.3Pa
进气口法兰：NW50/ISO63
排气口法兰：NW25
外形尺寸：450230295mm
电源：AC 380x3+地/AC 208x3+地
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