Edwards 爱德华双级泵E2M175 - 重庆杰铭晟真空科技有限公司

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Edwards 爱德华双级泵E2M175

广泛应用于半导体、平板显示器、LED和太阳能电池的制造过程，同时也适用于电力、玻璃涂层、冶金、制药和化学等领域‌

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产品简介

EM 系列泵是结实耐用的机械油封泵，抽速为0.7到275 m/hr(30 到206 CFM)。这些泵结构紧凑，使用时非常安静，具备先进的润滑回路，可靠性高，配有各种附件，可以满足特定的应用需求。

咨询电话：

023-86968816

详细介绍
技术参数
产品配置表

产品特性点：
‌润滑系统‌：独特油压回路设计，支持高气体负荷下的稳定润滑。
‌防反吸保护‌：弹簧式分配阀可在停机时防止油和空气反吸。
‌气镇控制‌：辅助处理高水蒸气负荷，蒸汽抽速可达0.3 kg/h。
‌维护便捷性‌：配备全高度油位观察窗及滤油机状态指示器，支持模块化维修套件。

技术参数‌
‌排量‌

50Hz频段：178 m³/h（约105 ft³/min）
60Hz频段：214 m³/h（约126 ft³/min）
对应速度标准（Pneurop）分别为160 m³/h（50Hz）和196 m³/h（60Hz）。
‌极限真空度‌

不带气镇：1×10⁻³ mbar（7.7×10⁻⁴ Torr）
带气镇：7×10⁻³ mbar（5.4×10⁻³ Torr）
使用Fomblin®润滑油时，不带气镇状态下极限真空可达1×10⁻² mbar。
‌电机功率‌

50Hz：5.5 kW（约7.5 hp）
60Hz：6.5 kW（约8.5 hp）。
‌重量与尺寸‌

整机重量：230 kg（508 lb）
进气口连接：ISO63盲法兰（带密封件）
排气口连接：中心分接的ISO40法兰。
‌噪音与冷却‌

噪音级别：75 dB(A)
水冷却需求：1.3 L/min