iH Series - 重庆杰铭晟真空科技有限公司

iH Series

广泛应用于半导体、平板显示器、LED和太阳能电池的制造过程，同时也适用于电力、玻璃涂层、冶金、制药和化学等领域‌

产品简介

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照gao工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。　

咨询电话：

023-86968816

IH系列功能和优势：

(1)优化了设施消耗。

(2)无需预防性维护。

(3)悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。

(4)在节省电机功率的同时提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

(5)耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

(6)较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。

(7)整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，

从而降低了总体占地面积。