EPX Series - 重庆杰铭晟真空科技有限公司

EPX Series

广泛应用于半导体、平板显示器、LED和太阳能电池的制造过程，同时也适用于电力、玻璃涂层、冶金、制药和化学等领域‌

产品简介

　 EPX系列Edwards公司推出的一款高真空干泵，主要用于半导体制造和其他需要高真空环境的工业应用。EPX系列真空泵采用单轴再生级和Holweck螺旋牵引级的多级结构，能够从大气压抽空到小于7x10-7Torr的极限压力，提供异常清洁的真空环境‌。

咨询电话：

023-86968816

详细介绍
技术参数
产品配置表

当单台泵所提供的真空无法满足某些应用的要求时，或者需要涡轮分子泵和前级泵时，EPX 泵是最理想的选择。它们还适用于频繁地在大气压和高真空之间循环的应用，因为它们能够在所有入口压力条件下连续工作。EPX 紧凑的设计比同类涡轮分子泵和前级泵组合更小巧。当您需要一种能够在各种条件下工作的真空泵时，Edwards爱德华EPX 干式真空泵将会是最佳的选择。