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iXL Series

广泛应用于半导体、平板显示器、LED和太阳能电池的制造过程，同时也适用于电力、玻璃涂层、冶金、制药和化学等领域‌
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iXL Series
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产品简介

　　　‌Edwards真空泵iXL系列‌主要包括iXL120和iXL1000等型号，这些产品是紧凑型低能量的干泵，适用于各种轻负载应用，如晶圆加工、PVD和计量等。

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　   iXL系列泵的特点：能耗极低，有助于降低客户的运营成本;能够快速抽空负载锁定舱室，减少总体平均循环时间;在空闲期间降低设备使用率，‌减少能耗，帮助保护环境‌;零氮吹扫选件无需氮气供给，节省安装和运行成本;适合安装在机台上或工厂的夹心层中，节省宝贵的工厂地面空间。‌‌

　　

 

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