iH Series - 重庆杰铭晟真空科技有限公司

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iH Series

广泛应用于半导体、平板显示器、LED和太阳能电池的制造过程，同时也适用于电力、玻璃涂层、冶金、制药和化学等领域‌

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产品简介

　 iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。

咨询电话：

023-86968816

详细介绍
技术参数
产品配置表

　　Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照gao工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。iH系列功能和优势:(1)优化了设施消耗;(2)无需预防性维护;(3)悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理;(4)在节省电机功率的同时提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性;(5)耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体;(6)较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证;(7)整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。