iGX Series - 重庆杰铭晟真空科技有限公司

首页 / 产品中心 / Edwards 爱德华

iGX Series

广泛应用于半导体、平板显示器、LED和太阳能电池的制造过程，同时也适用于电力、玻璃涂层、冶金、制药和化学等领域‌

我要询价

产品简介

iGX Series‌是一款专为半导体行业设计的干式真空泵，以其零维护、高可靠性和模块化设计而闻名,该系列泵在大修期间无需维护，适用于各种半导体制造工艺。　

咨询电话：

023-86968816

详细介绍
技术参数
产品配置表

iGX系列泵的峰值速度范围较宽，可以根据不同的应用条件进行调整。其模块化设计允许用户根据工厂的具体需求进行配置，紧凑的占地面积支持多种安装选项，包括工具上、近程和远程操作。广泛应用于半导体制造的各个阶段，包括晶圆制造、薄膜沉积、蚀刻等。其优异的性能和可靠性使得它在高要求的半导体生产环境中表现出色，确保了生产过程的稳定性和高效性‌