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iXH Series
产品简介
iXH 系列干泵可满足 FPD、太阳能、 半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，这些泵还配备多种特性 以确保在严苛制程中具有大可靠信。
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详细介绍
技术参数
产品配置表
产品特点
1.严苛工艺适应性：专为半导体、LED、太阳能电池等制造中的腐蚀性气体和粉尘环境设计。
2.节能与低维护：通过环保模式降低空闲能耗，且干式设计减少油污染风险。
3.高可靠性：适用于 300mm晶圆厂 和平板显示工厂，支持连续高负荷运行。
典型应用领域
1半导体制造：负载锁定抽空、CVD/PVD 工艺。
2.新能源行业：太阳能电池生产、LED封装。
3.工业真空系统：真空冶金、化工蒸馏、医疗设备等。
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