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爱发科蒸发Ei系列 ei-5z
产品简介
蒸发Ei系列 ei-5z产品适用于金属材料多层膜均匀沉积，支持 ITO 薄膜蒸镀，典型应用于半导体和电子材料领域。
咨询电话：
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详细介绍
技术参数
产品配置表
基片兼容性：支持 2英寸、4英寸、6英寸 样品制备。
最大加工尺寸：Φ280×50mm，移动行程 100mm，深度调节范围 25μm 。
分辨率：0.5μm（编码器分辨率 0.1μm）。
膜厚监控：配备石英晶体振荡膜厚监控仪，支持闭环控制薄膜速率和厚度。
冷却方式：全程水冷设计。
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