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爱发科CS-200z

‌ULVAC爱发科真空泵‌是ULVAC集团生产的一系列高质量真空泵产品。成立于1952年，产品广泛应用于液晶平板显示器、半导体、电子元件、汽车、食品和制药等行业
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爱发科CS-200z
爱发科CS-200z

产品简介

　　CS-200z‌是一款在真空条件下工作的设备，主要应用于溅射工艺。在DC或RF作用下，氩气产生氩离子，高能氩离子撞击靶材产生溅射，溅射出的原子或分子沉积在基板表面，形成薄膜。

爱发科CS-200z

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  • 详细介绍

  • 技术参数

  • 产品配置表

 产品特性      

       Loadlock式，自动运行，操作简单

　　成膜面积大，均匀性好

　　T/S距离60~180mm可调，适用广

　　可换托盘式，基板尺寸切换简便

　　2~8inch，方片，未定型片，切换兼容

　　向上溅射，向下溅射可选，颗粒抑制

　　

 

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