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‌ULVAC爱发科真空泵‌是ULVAC集团生产的一系列高质量真空泵产品。成立于1952年，产品广泛应用于液晶平板显示器、半导体、电子元件、汽车、食品和制药等行业

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产品简介

低温泵‌是ULVAC公司生产的一系列用于低温环境的真空泵，广泛应用于科研、工业生产和实验室等领域。

咨询电话：

023-86968816

产品特点

安装方向自由：安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。

搭载控制器：控制器安装在主体上，有效地减少了布线并减小了排气系统的尺寸。

高压缩比・高排气圧力：高压缩比和高背压操作使得辅助泵可以实现小型化。

三种法兰可供选择：VG、ICF、ISO-K三种类型的吸气口法兰可供选择。

清洁真空：在运行时以及泵停止时，碳氢化合物的回流很少。

用途：分析设备、研究开发设备、实验设备等的主排气系统，蒸发设备、溅射设备等著排气系统

H2、He等轻气体主排气系统

用于使低温泵运转。将压缩后的氦气送出冷冻机，冷却从冷冻机回来的高温氦气，使之循环。