爱发科NE-550EXz - 重庆杰铭晟真空科技有限公司

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爱发科NE-550EXz

‌ULVAC爱发科真空泵‌是ULVAC集团生产的一系列高质量真空泵产品。成立于1952年，产品广泛应用于液晶平板显示器、半导体、电子元件、汽车、食品和制药等行业

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产品简介

　　　NE-550 EX真空干法刻蚀设备‌是一款用于研发的高密度等离子刻蚀设备，采用了磁场ICP的工艺方法。该设备适用于单晶片处理类型的LL室，具有空间占用小、操作简单、应用效率高的特点。

咨询电话：

023-86968816

详细介绍
技术参数
产品配置表

产品特性

蚀刻均匀性，稳定性优异

　　Load -lock式，全自动控制

　　应用广泛Si02，SiN，金属，化合物等

　　构造简单，维护简便

　　2.4,6,8inch基板兼容,切换便利

1.功率范围‌：0-500W（连续可调，精度为1°C）
2‌.腔体内部尺寸‌：直径200mm × 深度320mm
3‌.极限真空度‌：≤10Pa
4‌.容积‌：10L
5‌.气体流量控制‌：2路处理气体气路，流量范围0-500ml/min
6‌.外形尺寸‌：650mm（宽）×650mm（高）×600mm（深）