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爱发科CC-200Cz

‌ULVAC爱发科真空泵‌是ULVAC集团生产的一系列高质量真空泵产品。成立于1952年，产品广泛应用于液晶平板显示器、半导体、电子元件、汽车、食品和制药等行业
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爱发科CC-200Cz
爱发科CC-200Cz

产品简介

　     CC-200Cz是一款紧凑且易于使用的负载锁定等离子CVD设备，支持从研发到生产的所有工作，设备操作简便，适合不同阶段的使用需求。
　

爱发科CC-200Cz

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  • 技术参数

  • 产品配置表

产品特性

       等离子增强型化学气相沉积设备

　　用于SiO2.SiN的高精度薄膜沉积

　　膜层应力稳定,可调范围广泛

　　可换托盘式,基板尺寸切换简便

　　2~12inch,方片,未定型片完美兼容

　　

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