爱发科SIV-500 - 重庆杰铭晟真空科技有限公司

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爱发科SIV-500

‌ULVAC爱发科真空泵‌是ULVAC集团生产的一系列高质量真空泵产品。成立于1952年，产品广泛应用于液晶平板显示器、半导体、电子元件、汽车、食品和制药等行业

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产品简介

　　爱发科SIV-500‌是一款用于半导体和光学薄膜制造的竖直溅射设备，适用于SiO、SiN等光学薄膜溅射，也可用于金属溅射。

咨询电话：

023-86968816

详细介绍
技术参数
产品配置表

产品特性

低Particle设计‌：采用竖直搬送基板技术，有效减少生产过程中颗粒物（particle）的产生，提升薄膜沉积质量。
‌空间优化‌：设备采用紧凑型布局，节省洁净室空间，适合高密度产线配置。
‌工艺控制灵活性‌：支持多腔体独立控制，可针对不同成膜物质（如SiO、SiN或金属）调整参数，兼容多种材料溅射需求。
‌专用阴极配置‌：根据具体成膜物质类型定制专用阴极，优化溅射效率与膜层性能。

1‌.设备类型‌：通过型竖直溅射设备，专为低particle环境设计
支持基板往复或line式搬送模式
2‌.成膜控制‌：多腔体独立控制膜层形成条件，适应不同工艺需求
可定制专用阴极设计，匹配特定成膜物质（如SiO、SiN等光学薄膜及金属）
‌3.结构特性‌：紧凑型省空间设计，适用于高密度生产线布局
竖直搬送系统降低基板接触摩擦，减少颗粒物产生