爱发科蒸发Esz系列 Esz-R-12 - 重庆杰铭晟真空科技有限公司

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爱发科蒸发Esz系列 Esz-R-12

‌ULVAC爱发科真空泵‌是ULVAC集团生产的一系列高质量真空泵产品。成立于1952年，产品广泛应用于液晶平板显示器、半导体、电子元件、汽车、食品和制药等行业

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产品简介

　　 ESZ-R系列蒸发设备‌是一种高真空蒸发镀膜设备，主要用于在基板上形成金属膜或氧化物膜。该设备采用Batch式操作，适用于研究开发及少量生产。它可以通过操作面板进行集中控制，实现抽真空、成膜等作业内容的自动化操作

咨询电话：

023-86968816

产品特性‌
1‌.高真空性能‌

腔室极限真空度达‌3.0×10⁻⁵Pa‌，确保薄膜高纯度和附着力。
支持氧气通入成膜，适用于‌ITO‌、‌SiO₂‌、‌TiOx‌等光学介质膜的制备。
‌2.镀膜精度与均匀性‌

镀膜精度高达‌10⁻¹⁰m‌，重复性和均匀性优异，适用于高精度研发需求。
配置‌离子源辅助沉积‌，增强薄膜致密性和表面处理效果。
‌3.设备结构与配置‌

腔室采用‌球形设计‌，直径可达‌φ1100mm‌，支持更多基片挂载。
兼容多种蒸发源，最多支持‌8组750W加热灯‌，适配热阻蒸发以节省材料。
4‌.应用场景‌

面向‌研究开发及小批量生产‌，适用于半导体、光通信、传感器等领域。
兼容基片规格：‌2~12英寸‌圆形或方片基板，支持不定型基材处理。