爱发科NLD-5700 - 重庆杰铭晟真空科技有限公司

爱发科NLD-5700

‌ULVAC爱发科真空泵‌是ULVAC集团生产的一系列高质量真空泵产品。成立于1952年，产品广泛应用于液晶平板显示器、半导体、电子元件、汽车、食品和制药等行业

产品简介

　　爱发科NLD-5700是一款应用于光学器件和MEMS制造领域的量产型干法刻蚀设备，其核心特点为搭载了‌磁性中性线放电（NLD）等离子源‌，可实现低压、低电子温度与高密度等离子体的稳定生成。该设备通过独立控制等离子体密度及基板入射能量，具备宽工艺窗口和高均匀性，适用于从离子性刻蚀到自由基性刻刻的多样化工艺调控。

咨询电话：

023-86968816

详细介绍
技术参数
产品配置表

产品特点
‌结构设计‌：支持洁净房内扩展为双腔配置，可选配NLD、有磁场ICP、CCP或去胶腔室，提升生产灵活性；
‌维护性能‌：腔体结构简化，干法清洁效率高，降低了设备维护成本；
‌工艺支持‌：依托半导体技术研究所的专业支持，可定制光衍射器件、微透镜、光子学结晶等复杂工艺解决方案。